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光氧催化废气净化器利用的高臭氧UV紫外线光束照射、裂解废气，通过特定波长的UV激发光源产生不同能量的光量子；使或无机高分子废气化合物分子链，在紫外线光束照射下，在大量携能光量子的轰击下使废气物质分子解离和激发，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用UV光束裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭的废气处理目的。

活性炭更换